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第11回マイクロマシン展
2000年11月8日[水]〜10日[金]
主催:(財）マイクロマシンセンター／マイクロマシン研究会
科学技術館 [東京・北の丸公園]
過去最大の66社、27研究機関が、最先端の技術・製品・装置を提供。
機械技術研究所では、実物を搬入しての実演デモ、ポスター展示解説やパンフレット配布説明による研究成果普及をはかるとともに、来場の方々との幅広い討議を通した技術交流を行ってシーズ提供・ニーズ把握にも努めております。
１．マイクロファクトリ ２．ポータブルマイクロファクトリ
３．マイクロ旋盤 ４．ＮＣマイクロ旋盤
４．マイクロ機構のトライポロジ ６．微小寸法材料の引張試験（マイクロ部材の機械的特性） ６．マイクロポンプ(気液相変化利用） ８．光アクチュエータ
９．表面活性化常温ウェハ接合（ウエハ常温接合、マイクロ接合の強度評価）
10．イオン注入マイクロデバイス（イオンビームを用いた機能付加加工）
11．全焦点マイクロカメラ
貴重なご意見ありがとうございました。
機械技術研究所では、来場の方々との幅広い討議を通した
技術交流でのシーズ提供・ニーズ把握にも努めております。
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