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３次元微細加工
回転する円盤に単結晶タイヤモンドの刃物を出し入れして削りました。約２ミクロンの浮き彫りです。
マイクロデバイス・加工例（１）
液体に分散させたＰＺＴを析出堆積させた成膜を加工して細い４本のアクチュエーターを作りました。このアクチュエータでミラーを吊ってあります。
約５００ミクロンのマイクロミラーを走査します。ディスプレーやバーコードリーダーに応用が期待できます。
マイクロデバイス・加工例（２）
プラズマエッチングで約７０ミクロンのピッチで棒状の塔だけ残しました。真っ直ぐで長細い塔を規則正しく製作できます。
脚車輪型走行機械
縦型で２足なので狭い所でも移動可能です。平地は車輪で走ります。
クロール型階段昇降機
らせん階段の内側にも設置できるのでドアが邪魔になりません。静かに登れる構造です。
ビジュアルプラトーニング
知能を駆使して先行車を安全に自動的に追跡します。スムースな安全な交通流が可能になります。
マイクロファクトリ
省スペース、省電力な微細部品の加工組立の実現に挑戦しています。
溶接データの検索と計算事例
溶接の最適な条件が求められます。
先進構造材料評価技術
左：超構造材料試験評価装置（〜2000℃ 、大気中、真空中）
右：夢の耐熱材料ＭＧＣ等の開発
摩擦が１／１０になる突起表面のＡＦＭ画像
平滑なシリコン板表面をイオンビームで２４０ナノメータの周期ピッチに加工した。
