National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST) This page is a page of the former research institute. We stopped updating on March 31.2001.
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界面制御研究室のマイクロマシン技術


高アスペクト比加工

マスク作成技術


　　　 Ｘ線露光（LIGA）

　　　　　　


　　　 レーザー露光


レーザー加工技術

　　　 エキシマレーザーによる高分子加工・形状転写



スマート材料

ＰＺＴ薄膜技術

　　　 ゾル・ゲル法

　　　　　


　　　 レーザーアブレーション法

　　　　　　

　　　 ガスデポジション法

　　　　　　
　　　　　　　

　　　　　　　

マイクロ接合

　　　 表面活性化接合

　　　　　　


流体デバイス

　　　 粘性バルブポンプ

　　　　　　


　　　 ER流体バルブ