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| 昭和12年（1937） | 機械試験所設置に関する官制公布
商工省（現 通商産業省）工務局に所属 東京都京橋区銀座木挽町（現 中央区銀座6丁目）で業務開始 |
| 昭和14年（1939） | 杉並区（現 同区井草4丁目）に移転 |
| 昭和17年（1942） | 東村山分室を設置 |
| 昭和18年（1943） | 名古屋支所を設置 |
| 昭和23年（1948） | 工業技術庁（現 工業技術院）の発足に伴い同庁に所属 |
| 昭和27年（1952） | 名古屋工業技術試験所（現名古屋工業技術研究所）の設置に伴い名古屋支所を移管 |
| 昭和28年（1953） | 中央度量衡検定所（現 計量研究所）の研究部門拡充にあたり一部職員出向
東村山分室に自動車試験道路完成 |
| 昭和30年（1955） | 航空技術研究所（現 航空宇宙技術研究所）の設置に伴い一部職員出向 |
| 昭和31年（1956） | 金属材料技術研究所の設置に伴い一部職員出向 |
| 昭和42年（1967） | 総務部・研究企画官制施行
物理制御部・機械要素機構部・熱流体部・材料工学部・生産加工部・自動車安全公害部を新設 |
| 昭和44年（1969） | 茨城県筑波郡谷田部町（現 つくば市）に谷田部実験場を設置 |
| 昭和46年（1971） | 機械技術研究所と改称
機構改革を実施 基礎部・システム部・機械部・生産工学部を新設 |
| 昭和48年（1973） | 次長・企画室制施行 |
| 昭和55年（1980） | 本所及び東村山分室の筑波研究学園都市への移転開始、谷田部試験場閉鎖 |
| 昭和56年（1981） | 筑波への移転完了
筑波第２研究センターに自動車試験用・周回路・衝突実験など完成 |
| 昭和59年（1984） | 機構改革を実施
エネルギー機械部・ロボティクス部を新設 |
| 昭和62年（1987） | 創立５０周年記念事業を実施 |
| 平成元年（1989） | 機構改革を実施
物理情報部・基礎機械部・生産システム部・エネルギー部・ロボット工学部を新設 |
| 平成６年（1994） | 機構改革を実施
基礎技術部・極限技術部を新設 |
| 平成９年（1997） | 創立６０周年記念事業を実施 |
| 平成13年（2001.1） | 経済産業省産業技術総合研究所の発足に伴い同研究所に所属 |
| 平成13年（2001.4） | 独立行政法人産業技術総合研究所の発足に伴い同研究所つくばセンターつくば東事業所と改称 |
