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機械的特性 Mechanical properties of micro materials |
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種々の微小寸法材料の機械的特性を把握するために、微小寸法材料に適した機械的特性試験法を開発するとともに、材料の微細組織、微細欠陥及び表面層などが機械的特性に及ぼす影響を解明する研究を進めています。
トピックス
新たに開発した引張試験装置を用いて、厚さ0.5μmのスパッタチタン薄膜や厚さ1.0μmのスパッタアルミ薄膜の機械的特性の測定を行っている。薄膜は壊れやすく取扱いが困難であるので、半導体製造プロセスを用いて､シリコンフレームの内側に薄膜引張試験片を製作している｡同薄膜試験部は、幅300μm､標点間距離1000〜1400μmである。試験片は､マイクロメータヘッドを利用した新しい把持機構により容易に引張試験装置に装着することが可能である｡両薄膜の応力-ひずみ線図を室温において連続的に測定した｡その結果､チタン及びアルミの両薄膜は室温では両材料のバルク材に比べ､破断伸びは小さい値を示す一方、引張強さは大きい値を示すことが明らかになった。
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最終更新日：平成11年3月4日 |
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研究担当：小川 博文 |
