主要研究設備

マイクロトライボロジー特性試験評価装置 雰囲気のコントロールを行い，μNオーダーの分解能で摩擦力と凝着力を測定することが可能．	微小寸法材料用引張試験装置 マイクロマシン材料のヤング率や引張強さを測定することが可能．
高分子材料粘弾性測定装置 高分子材料の弾性率、誘電率、圧電率の温度特性、周波数特性の測定が可能。	表面間力測定装置（SFA） 高感度の力センサで，表面間に作用する引力（ファンデルワールス力など）を測定することが可能．
走査型プローブ顕微鏡（ＳＰＭ） 非常に小さな針を用いて，表面形状や摩擦力分布ををnmオーダーの分解能で測定することが可能．

　

	雰囲気制御電気炉
	レーザードップラー粒子流速計
	高出力加振装置
	アクティブ制御除振台
	立体視観察SEM（共同利用施設）
	集束イオンビーム装置（共同利用施設）

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