４．ダイナミック表面ナノ計測技術
圧延、切削、研削などの加工面や機械の摺動面では、帯電、マイクロプラズマの生成、電子・イオン・電磁波放射などの摩擦電磁気現象が発生します。これらの高エネルギー現象を伴う活性表面をダイナミック表面と呼びます。このダイナミック表面電磁気現象は、機械システムがマイクロ化するにつれて、その*性能と寿命に重要な役割を果たすと考えられます。
当所においては、このダイナミックな諸現象をナノ秒の時間分解能、数十ナノメートルの空間分解能で計測する技術を開発し、以てそこで発生する諸現象を解明することにより高性能・超長寿命マイクロ機械システムの開発とマイクロ機械加工技術の開発に寄与するための研究を行っています。
