１．マイクロデバイス技術
通常の大きさの機械は旋盤で削ったり、ドリルで穴をあけたりして作ります。この方法では小さいものをつくるには限界があります。化学蒸着やスパッタリングと呼ばれる方法で材料をシリコン上に堆積し、イオンエッチングと呼ばれる方法で微細加工をすることにより微小な機械を製造しています。
原子間力顕微鏡用の小さい力が計れるカンチレバー（小さなレコードアーム）及びその計測結果（図1)、バーコードリーダーや３次元形状認識で使われる小さな動くミラー（図2）等を作っています。カンチレバーの駆動や力の検出にはピエゾ材料と呼ばれるセラミックスを利用しています。超高密度な記憶素子や高速光デバイスの開発に役立つ技術です。
