３．走査型プローブ顕微鏡による物性計測
マイクロ化を指向する機械技術の進展には、機械的性質の新しい評価技術が必要です。そこで、原子間力顕微鏡（Atomic Force Microscore：ＡＦＭ）の試料を横方向に振動させて、凹凸の影響の小さい摩擦力の計測を可能にする横振動モードＡＦＭ（ＬＭ-ＡＦＭ）、及びカンチレバーの基本共振周波数以上の周波数の振動を利用して、表層の弾性率計測と欠陥観察を行う超音波価ＦＡＭを開発しています。
また、ミクロンオーダーの薄膜やイオン注入層の評価のため、レーザー干渉縞を音速で走査して超音波を発生する位相速度走査（ＰＶＳ）法を考案し、従来不可能だった真空中や高温で使用できる非接触型の超音波顕微鏡を開発しています。これらの技術はマイクロ／ナノマシンの物性計測やイオン注入過程の原子レベルの機構解明に役立つものと期待されています。
