１．マイクロ機構構成技術
マイクロマシンに適した信頼性や実用性の高いマイクロ運動機構を実現するため、以下の基礎的研究を行っています。マイクロマシンでは、慣性力に比べて摩擦力などの表面力の影響が大きくなるため、微小な接触面積や荷重下でのトライボロジー特性を明らかにし、マイクロマシンに適した潤滑方法を開発するための研究を行っています。
微小寸法材料の機械的特性を把握するための試験法を開発するとともに、機械的特性に及ぼす材料の微細組織、微小欠陥及び表面層などの影響についても検討を行っています。また、マイクロマシンに適した機能性材料のマイクロ化に伴う特性評価の研究も進めています。微小寸法の流れでは、粘性力の影響が支配的となるため、気液相変化などにより流体の粘性を制御し、機械的な可動部を必要としない、微小化に適したポンプ機構を開発するための研究を行っています。
