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日 時 : 平成10年6月17日(水)10:00−16:50
場 所 : 三会堂ビル 石垣記念ホ−ル
〒107-0052 東京都港区赤坂1−9−13
TEL03-3582-7451
主 催 : 通商産業省工業技術院機械技術研究所 (財)日本産業技術振興協会
協 賛 : (社)日本機械学会、 (社)精密工学会、 (社)計測自動制御学会、
(社)応用物理学会、 (社)機械技術協会、 (社)日本ロボット学会、
(社)日本工作機械工業会、 (社)日本トライボロジー学会、
(財)マイクロマシンセンター (順不同)
参加費 : 無料(ただし、一般参加者はテキスト代¥2600)
問合先 : 通商産業省工業技術院機械技術研究所 総務部業務課
〒305-8564 茨城県つくば市並木1−2
TEL 0298-61-7035 FAX 0298-61-7037
申込先 : (財)日本産業技術振興協会
〒105-0001 東京都港区虎ノ門1−19−5
TEL03-3591-6272
FAX 03-3592-1368
開催にあたって
マイクロマシン技術は21世紀に花開く技術としての期待を込めて現在世界各国で研究開発が進められています。我が国でも通産省の産業科学技術研究開発制度における「マイクロマシン技術の研究開発」を中心に各所で取り組みが行われているところです。
当該技術は対象とする範囲が広く、しかも幾多の未踏技術への挑戦が要求されるため、総合的な研究開発には多方面の方々の地道な協力協調が必要ですが、一時期のブームの状況を脱し、正にマイクロマシンは如何にあるべきかが真剣に論議される時代に入ってきていると思われます。上記産業科学技術研究開発プロジェクトも漸く第一段の区切りを示し、成果が問われる時期になりなした。関係諸氏の御参会を仰ぎ、さらなるマイクロマシンの発展のために今後我々が何をなすべきかを御討論頂きたく、この講演会を企画いたしました。皆様の積極的な御意見をもとにマイクロマシン技術進展の道を確実に切り開くことが
出来れば幸甚です。
−午前の部− 司 会 企画室長 濱
純
10:00〜10:05
開会の挨拶
工業技術院機械技術研究所長 中澤 克紀
10:05〜10:40
「機械技術研究所におけるマイクロマシン研究の狙い」
極限技術部 竜江 義孝
当所では当該研究を大きく機構・加工・制御の3グループに分けて、それぞれ主要な研究課題の解決に当たっている。ここでは、プロジェクト全体の中における各テーマの狙いと位置づけを紹介し、機械工学をベースに置く当所の研究の概要にいて述べる。
10:40〜11:50
特別講演
「マイクロマシン研究の国際的展開と将来への期待」
東京大学大学院工学系研究科長 中島 尚正
マイクロマシン研究は日米欧等の技術先進国でほぼ同時に着手されてきているが、各地域における取り組みには各々に特色がある。本講演では、現在の研究開発状況を概説して頂き、マイクロマシン技術がどのように発達してきているか、今後の工業、医療その他産業において果たす役割には何を期待するか等につき展望を解説する。
11:50〜13:10
休 憩(昼食)
−午後の部− 司 会 極限技術部 竜江 義孝
13:10〜13:45
「マイクロファクトリーの概念」
極限技術部微小機構研究室長 田中 誠
マイクロマシンを「作る技術」のあり方は如何なるものか、当所では本プロェクト発足の時点からマイクロファクトリ−の必要性を強調してきた。工場のダウンサイジングは省エネ、省資源、省人など対象をマイクロマシンに特化しなくとも大きな波及効果が期待される。基本となる考え方について概説する。
13:45〜14:20
「マイクロマシンのトライボロジー」
極限技術部微小機構研究室主任研究官 安藤 泰久
マイクロマシンにおいては、質量が寸法の3乗に比例するのに対し表面積は2乗に比例して小さくなるため、相対的に表面の影響が増大し、トライボロジーの問題が重要になってくる。ここでは、マイクロマシンにおけるトライボロジー現象の特徴と摩擦力低減方法に関して述べる。
14:20〜14:50
「低温無加圧接合技術」
生産システム部界面制御研究室 高木 秀樹
微細加工により作製した部品の組立では、ネジなどに代わり固相での直接接合による方法が重要になる。本研究では、接合の際の加熱や加圧による微小部品の劣化を避けるために、真空中での表面処理を利用した、無加熱・無加圧での接合技術を開発した。
14:50〜15:25
「レーザ超音波顕微鏡によるマイクロ部材の評価技術」
極限技術部量子技術研究室 佐藤 治道
水などを使わない、非接触に超音波を発生するレーザー超音波顕微鏡を開発し、マイクロマシン部材の欠陥や弾性率の評価を非破壊におこなった。Si基板上にマイクロ標準欠陥を作成しその検出評価をおこなった。また、ポーラスシリコンの音速を測定し、弾性率を評価した。
15:25〜15:40
(休 憩)
15:40〜16:15
「微細作業のための遠隔制御技術」
ロボット工学部感覚制御研究室主任研究官 金子 健二
マクロ環境とは力学的挙動が異なるマイクロ環境の物体を遠隔操作する際、マイクロ環境下の作業感覚(インピーダンス)を操縦者が慣れ親しんだ感覚に整形して操縦者に提示することにより、作業の効率化をはかることが期待されている。ここではインピーダンスを整形可能な遠隔制御技術を紹介する。
16:15〜16:45
「マイクロマニピュレーションシステムによる接着組立技術」
ロボット工学部自律制御研究室 谷川 民生
マイクロマシン組立、ならびに微細手術、細胞操作への応用を目指し、数ミクロンサイズの微小対象物の操作ならびに接着組立を容易に実現できる、二本指マイクロハンド機構と微量接着剤塗布装置で構成されるマイクロマニピュレーションシステムの概要を述べる。
16:45〜16:50
閉会の挨拶
工業技術院機械技術研究所次長 大 山 尚 武
地下鉄銀座線 虎ノ門駅下車徒歩5分
地下鉄丸の内線・千代田線 国会議事堂前駅下車徒歩7分