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（○印 発表者）
１．ナノメカニクス架橋のダイナミクスの計測
加藤 孝久1・○Choi Junho2
（1極限技術部）（2東京大学大学院）
直系20ミクロンの2つのガラス球間に長さ数十ナノメーターの高分子液体メニスカス架橋を形成し、これに動的引っ張り、動的せん断ひずみを加え、応力応答を測定した。メニスカス架橋の応答はすずみ周波数および架橋長さに依存する結果を報告する。また、メニスカス架橋の線形粘弾性モデル化について報告する。
２．高歯平歯車の動力損失 −歯の形状の影響（続）
○水谷 八郎
（極限技術部）
歯の両端部を面取りした高歯平歯車（m3,α20°,z1/z240/77,b25mm,h2.7m）を負荷運転し、潤滑油と歯車系の温度上昇を計測して歯車の動力損失の要員を解析した。形状修正のない歯車の場合と比較した結果を報告する。
３．自己組織化膜で被覆された微小突起配列上の摩擦力測定
井上 陽介1・○安藤 泰久2・猪狩 隆3・森 誠之4・角田 和雄1
（1中央大学）（2極限技術部微小機構研究室）（3岩手大学大学院）（4岩手大学）
複数のシリコン基板上に突起配列を創製し、基盤ごとにアルキル鎖長の異なる自己組織化単分子膜を形成した。AFMを用いて、引き離し力や摩擦力を測定した結果、アルキル鎖の炭素数が長いほど摩擦係数が低下する傾向が認められた。
４．スパッタチタン薄膜の引張強さに及ぼす膜厚の影響
○小川 博文1・金子 新二2・坂 真澄3
（1極限技術部微小機構研究室）（2オリンパス光学工業（株））（3東北大学）
スパッタチタン薄膜の引張強さに及ぼす膜厚の影響を調べるために同薄膜の引張試験と断面TEM観察を行った。その結果、膜圧が大きくなると結晶粒が大きくなるため、引張強さの値が小さくなることが明らかになった。
５．圧電・強誘電性アクチュエータの特性の評価
○一木 正聡1・森川 泰2・前田 龍太郎3・田中 誠1
（1極限技術部微小機構研究室）（2物理情報部計測制御研究室）（3生産システム部界面制御研究室）
圧電性及び強誘電性アクチュエータとして有用な2,3の機能性材料の作成プロセス及び特性評価法について説明するとともに、応用用途についても報告する。
６．羽ばたき運動する微小毛群による流体輸送
○砂田 茂1・尾崎 浩一・2・田中 誠1
（1極限技術部微小機構研究室）（2極限技術部量子技術研究室）
羽ばたき運動する微小毛群の流体輸送力を測定した。測定値は、並進運動する微小毛群による勇退輸送の大きなメリットが明らかになった。
７．ポータブル機械加工マイクロファクトリ
○芦田 極1・前川 仁2・三島 望3・谷川 民生4・田中 誠1
（1極限技術部微小機構研究室）（2ロボット工学部感覚制御研究室）（3生産システム部生産機械研究室）（4ロボット工学部自律制御研究室）
小型部品を機械加工する目的で開発したデスクトップタイプのマイクロファクトリを、制御機器を含めてジュラルミンケースに収納し、ポータブルマイクロファクトリを実現した。
８．摩擦力顕微鏡機構を用いた極微細機械加工と異方正エッチングの併用によるマスクレスパターン形成
○陳 利益1・芦田 極2・森田 昇3
（1千葉大学大学院）（2極限技術部微小機構研究室）（3千葉大学）
摩擦力顕微鏡機構（FFM）を利用して単結晶シリコン表面に極微細な機械加工を行った後、KOH水溶液による異方正エッチングを行うと、機械加工によって生じた加工変質層のマスク効果により微細なパターンを形成できる。その具体的な方法と結果について述べる。
９．光誘起相転移物質の発生歪の測定
○池原 毅・田中 誠
（極限技術部微小機構研究室）
光照射で相転移する性質を持つポリジアセチレン（PDA）について、光アクチュエータ材料としての評価を行っている。PDA結晶の相転移前後の発生歪を、変位計で測定し、a軸とc軸で1〜2%、b軸で0.03%の変位が観測された
10．グラファイト保持器を用いたセラミック軸受の高温性能
○武田 稔1・北村 和久1・吉岡 武雄2・是永 敦2
（1光洋精工（株））（2極限技術部精密機構研究室）
室温から高温まで使用可能なセラミック軸受用高温固体潤滑剤の開発を目的としてボロン添加グラファイト材にアンチモンを含浸させた保持器材料を評価した結果について報告する。
11．超磁歪材料のうず電流場変形解析
○近藤 孝之
（極限技術部精密機構研究室）
超磁歪材料内部を減衰しながら伝播する弾性波を観測し減衰計数を計測した。このデータを用い、マイクロ秒のパルス電流を流したときのうず電流場における磁歪による材料の動的変形を解析するプログラムを開発した。
12．DRIEにより作成した双方向バルブレスマイクロポンプ
○松本 壮平1・前田 龍太郎2
（1極限技術部量子技術研究室）（2生産システム部界面制御研究室）
液体粘性の温度依存性を利用する双方向バルブレスマイクロポンプの微細流路構造を最適化するため、高アスペクト比加工が可能なDeep Reactive Ion Etching技術を用いてデバイスを作成した。特に高温条件下での動作安定性が改善された。
13．液体の気液相変化を利用するマイクロポンプ機構 −基本特性に及ぼすサイズ効果の考察−
○尾崎 浩一
（極限技術部量子技術研究室）
流体の気液相変化により、機械的駆動部を必要とせず細管内の流体を圧送するマイクロポンプ機構について、機構の基礎的な定式化を行い、揚程曲線、効率等、ポンプ特性に及ぼすサイズ効果の影響を考察する。
14．加重による原子スケール摩擦の周期変化
藤沢 悟
（極限技術部量子技術研究室）
2次元の摩擦力顕微鏡を用いてNaF(100) 開面での単一突起摩擦を原子スケール分解能で測定した。加重を2.0nNから3.1nNに増やすことにより、摩擦力画像の周期が変化した。その変化をtip position mapに基づいて調べることにより、sticking-domain分布の周期変化を見いだした。
15．イオン注入材料改質により作られたマイクロマシン材料の内部構造
○中野 禅1・中川 幸子2・石川 晴雄3・小木曽 久人3
（1極限技術部量子技術研究室）（2岡山理科大学）（3産業技術融合領域研究所）
イオン注入材料改質法を用いたマイクロマシン構造の作成を行い、選られた材料のヤング率等が基盤と大きく異なることを示してきた。今回は、この作成法により作られたマイクロ構造を断面透過電子顕微鏡等により観察し内部構造を検討したのでこれについて報告する。
16．有機自己組織化単分子膜中へのナノ構造形成と機能発現
○石田 敬雄1・水谷 亘2・雀 奈美2・小木曽 久人2・中野 禅1・徳本 洋志2
（1極限技術部量子技術研究室）（2産業技術融合領域総合研究所）
有機自己組織化単分子膜を金基板上に作製し相分離やイオン照射などでナノ構造を形成した。STMで局所的な電気伝導性の発現を観察した。
17．マイクロスケール摩擦への交番電場による静電気力と機械的振動の影響
○大久保 将利1・藤沢 悟2
（1東京理科大学）（2極限技術部量子技術研究室）
交番電場中の誘電体表面間に発生する静電気力とそれと同時に発生する摩擦スライダーの機械的振動がマイクロスケール摩擦に及ぼす影響をその周波数依存性から調べた。
18．カオス結合振動子系による運動パターンの生成
○鈴木 章夫
（極限技術部振動制御研究室）
センサ、アクチュエータ、カオス発振回路を一体化した非線形機械振動子を提案し、その基盤的な特性と結合系に生じる周期運動や時空カオスなどの運動パターンを数値シミュレーションにより調べた結果を発表する。
19．塔状構造物の振動制御に関する研究 （ハイブリッドアクチュエータによるモード制御）
○菊島 義弘1・西郷 宗玄2・瀬川 武彦3・田中 信雄4
（1極限技術部振動制御研究室）（2ロボット工学部運動機構研究室）（3エネルギー部流体工学研究室）（4都立科学技術大学）
慣性力型アクチュエータとモーメント型アクチュエータを組み合わせたハイブリッドタイプの新しいクラスターアクチュエーション法を提案すると共に、当該アクチュエーション法と前報で提案している分布定数系モードセンサを用いた制御系を構築し、簡素な制御系による骨組構造物の振動制御について報告する。
20．The Model Analysis of Viaduct Road Part with FEM
○Ismail YUKSEK1・菊島 義弘1・西郷 宗玄2・田中 信雄3
（1極限技術部振動制御研究室）（2ロボット工学部運動機構研究室）（3>都立科学技術大学）
In this study, classification of vibration modes is investigated for flat viaduct road parts. A viaduct road part is modeled using finite element method and structural modes of road element are obtained.