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（○印 講演者）
１．10:00〜10:20
風車ロータ近接配置マイクロホンアレイによる広帯域音源位置計測
○二井 義則１・高橋 則之２・松宮 W３
（１極限技術部）（２富士重工業（株））（３エネルギー部）
風車翼が放射する広帯域音の音源探査を可能とする計測システムを構成し、機械技術研究所の試験風車翼を対象として試験・計測を行った。計測システムの概要、機能確認試験、計測結果等を報告する。
２．10:20〜10:40
マイクロプレス機の試作
○芦田 極１・公文 卓馬２・田中 誠１・森田 昇２
（１極限技術部微小機構研究室）（１千葉大学）
試作した順送り型マイクロプレス機による微小部品の加工において、プレス加工中の速度測定を行った。また、歯車機構を用いたプレス加工実験を行い、機構剛性について検討した。
３．10:40〜11:00
毛を持つ翼による流体駆動について
○砂田 茂１・高島 博樹２・服部 利明２・安田 邦男２・田中 誠１
（１極限技術部微小機構研究室）（２日本大学）
毛の生えた翼が、並進運動、回転運動、羽ばたき運動する際に発生する流体駆動力の測定結果を用いて、毛の生えた翼による小型流体器の可能性について検討する。
４．11:00〜11:20
複数のラジアル転がり軸受の異常診断方法
○間野 大樹１・是永 敦１・吉岡 武雄２
（１極限技術部精密機構研究室）（２東京農工大学）
本方法では、一本の軸を支持する三個のラジアル転がり軸受について両端の軸受ハウジングに二組のＡＥ測定系を取り付ける。ある軸受でＡＥが発生すると、ＡＥ波がそれぞれの測定系に到達するまでの時間差からＡＥ発生源の軸受を標定する。
５．11:20〜11:40
金単原子ワイヤーのダイナミクス直視観察と導電特性
○藤澤 悟１・木塚 徳志
（１極限技術部量子技術研究室）（２名古屋大学）
原子的分解能を有する透過型電子顕微鏡内部に組み込んだ微動機構を用いて、金(Au）の単原子ワイヤーの作成に成功した。同時計測した導電特性と直視によるダイナミクスから、導電／絶縁体相転移を初めて見いだした。
11:40〜13:00 休憩
６．13:00〜13:30
マイクロマシンとトライボロジー
○安藤 泰久１・田中 誠１・石川 雄一２・北原 時雄３
（１極限技術部微小機構研究室）（２極限技術部精密機構研究室）（３湘南工科大学）
マイクロマシンが動作するような環境では、質量に比較して表面間力の影響が増大するため、表面間力を減少させることがトライボロジー特性改善の鍵となる。微小荷重下の摩擦において、荷重、摩擦力、凝着力の関係を明らかにし、ナノメートルオーダの形状をコントロールすることで、摩擦力を減少させる方法について述べる。また、マイクロマシンの技術をトライボロジー計測に応用していく方法についても展望する。
７．13:30〜14:00
微小材料の機械的特性評価研究のまとめと将来
○小川 博文１・石川 雄一２
（１極限技術部微小機構研究室）（２極限技術部精密機構研究室）
信頼性のあるマイクロマシンを実現するためには、微小材料の信頼性評価が必要である。本発表では、当所における微小材料用引張試験装置の開発、同装置による薄膜の特性評価の概要を紹介し、将来の課題を述べる。
８．14:00〜14:30
マイクロ接合技術に関する研究
○高木 秀樹・前田 龍太郎
（生産システム部界面制御研究室）
マイクロデバイスの作製においては、微小な部品の組立やパッケージングのための接合技術が重要な役割を果たしている。今回は、ウェハなどの脆性材料のマイクロ説尾久の強度評価法、および微小なデバイスへのダメージを低減するための常温でのウェハ接合技術について報告する。
９．14:30〜15:00
マイクロマシンの機能付加加工
○中野 禅
（極限技術部量子技術研究室）
マイクロマシンプロジェクトで行ってきた、イオン注入法を用いた機能付加加工技術について、原理、加工事例、特性評価などの総まとめをおこなう。
15:00〜15:15 休憩
１０．15:15〜15:45
歯車精度測定の現状と課題
○近藤 孝之１・水谷 八郎２
（１極限技術部精密機構研究室）（２極限技術部）
歯車に対する要求精度が年々高くなりサブミクロンの精度が品質を左右する時代である。わが国では、測定精度の保証をすることができず困っている現状、また、国家計量標準とトレーサビリティーがとれる計測を行うための課題について述べる。
１１．15:45〜16:15
機械技術研究所における転がり軸受に関する研究
○是永 敦・間野 大樹・石川 雄一
（極限技術部精密機構研究室）
機械技術研究所においては、これまで転がり軸受に関する研究を行ってきており、現在は精密機構研究室が担当している。軸受の性能向上、異常診断、特殊用途用の開発など、これまでの研究成果について概説する。
１２．16:15〜16:45
マニスカス架橋の動特性およびモデル化（マクロからミクロまで）
○加藤 孝久１・Choi Jun Ho２・松岡 広成３
（１極限技術部）（２量子技術特別研究室）（３鳥取大学）
２個体面間に形成された、長さ数十ミクロンから数十ナノメータのメニスカス架橋の加振実験を行い、その動特性が加振周波数及び架橋長さに依存することを明らかにした。またメニスカス架橋のモデル化を行った。