機械技術研究所研究発表会
９月９日（木）生産技術分野
１． プレス機械の構成要素による音への影響（U）
○ 初鹿野 寛一１・水谷 八郎１
（１生産システム部変形工学研究室）（２極限技術部部付主任研究官）
構成要素を交換できるプレスを用い、フレーム剛性、ボルスタ剛性等を変えて平打ち加工を実施した。この場合の発生音を多点で計測して音の等高線図を作成し、構成要素が音に与える影響を主な周波数について調べた。
２． 動的圧粉体に及ぼすパンチ形状の影響
○ 中山 昇１・花田 幸太郎２・佐野 利男３・武石 洋征４
（１東京ダイヤモンド工具製作所）（２生産システム部変形工学研究室）（３生産システム部長）（４千葉工業大学）
本研究では、固体潤滑複合材料の開発としてAlをマトリックスとした機能性薄膜を形成することを目的とし、純Al粉末に対して冷間動的粉末を行い薄膜成型を試みた。まず、パンチ形状の断面変化を大きくすることでパンチ内に入射された圧縮応力波を重畳させ、圧粉時に高い応力状態になる新しい方法を考案した。さらに、パンチ形状に依存する衝撃力の変化と成形体の機械的性質の関係について調べた。
３． 音響インピーダンスを考慮した金属粉末の動的圧粉シミュレーション
佐野 利男１・○芥川 直哉２・武石 洋征３・堀越 理子４
（１生産システム部長）（２千葉工業大学連携大学院）（３千葉工業大学）（４株）エイ・イー・エス）
マルバーン型構成方程式を粉体に適用して一次元動的圧粉シミュレーションを行った。解析において粉体に対し動的応力波を与えるパンチ端面とそれに接触する粉体端面間における音響インピーダンスの影響を考慮した。
４． Mg80Ni15-xMxY5アモルファス合金の作製と特性
○ 松崎 邦男１・高橋 春正１・寺崎 正好１・村越 庸一１・須藤 攝子１・佐野 利男２
（１生産システム部変形工学研究室）（２生産システム部長）
これまでに液体急冷却法によりMg-Ni-Yアモルファス合金を作製し、機械的特性に及ぼす希土類元素の影響について報告したが、本報ではNiを他の遷移金属で置換し、アモルファスの形成能及び特性に及ぼす影響について調べた。
５． 超高真空下金属新生面の仕事関数の変化
○ 張 麓ルウ・中山 景次（生産システム部変形工学研究室）
摩擦・摩耗による金属の新生面の仕事関数の変化を調べるために、非接触原子間力顕微
鏡を用いて、超高真空中で金属表面をスクラッチし、その場で表面凹凸と仕事関数変化のイメージを観察した。
６． 摩擦新生面の仕事関数分布と気体吸着
○ 中山 景次・張 麓ルウ（生産システム部変形工学研究室）
超高真空中にて固体表面をスクラッチし、スクラッチにより生じた微小摩耗新生面へ、酸素、ヘリウム等の気体分子を吸着させ、吸着による仕事関数分布の変化をケルビンフォース顕微鏡により調べた。
７． 超音波を利用したマイクロミキサーの開発
○ 楊 振１・後藤 博史２・松本 幹雄２・前田 龍太郎１
（１生産システム部界面制御研究室）（２オムロンつくば研究所）
超音波振動を利用したマイクロミキサーについて調べる。このシステムは微少な流体を取り扱う化学合成システム、分析システムへの利用を考慮したものである。PZT素子を５０Ｖ、周波数６０ｋHzの方形波により加振することにより、超音波を発生させる。ダイアフラム構造により超音波素子を局在させ、溶液の攪拌が行われていることが判明した。
８． Development of Micromachined Scanning Device actuated by Excimer LaserAblation Deposition Thin Film PZT
○ 林 文美１・菊地 薫１・Andreas SCHROTH２・松本 壮平３・前田 龍太郎１
（生産システム部界面制御研究室）（２ISS-Nagano）（３極限技術部量子技術研究室）
エキシマレーザアブレーション蒸着により成膜したPZT薄膜を用いマイクロスキャニングデバイスをマイクロマシニングにより試作した。薄膜の物性評価、デバイスの振動特性を行ったので報告する。
９． ゾルーゲル法により作製したPZT薄膜の優先方位に及ぼす熱処理の効果
○ 前田 龍太郎・王 センケツ・梅沢 明彦・菊地 薫
（生産システム部界面制御研究室）
マイクロアクチュエータへの応用を目指し、ゾルゲル法により、強誘電体剤良であるPZTの薄膜を形成した。前駆体溶液を基板状にスピンコーティングし、１２０℃の最終アニーリングを行った。熱分解能程の温度により優先成長方位を制御することができた。
10エアロゾル式ガスデポジション法で作成したPZT厚膜のTEM観察
○ 明渡 純・マキシム レベデフ（生産システム部生産機械研究室）
高性能な微小のアクチュエータ実現のためにエアロゾル式ガスデポジション法を用いた圧電厚膜の作成を検討している。本報告では、成膜メカニズム解明や電気特性向上のために、形成された膜の微細構造をTEM観察やEDX分析で評価した結果を報告する。
11.Velocity measurement of particles in gas deposition method
○ M. Lebedev１・明渡 純１・森 和男２・永壽 伴章１
（１生産システム部生産機械研究室）（２生産システム部生産情報研究室）
A simple, low-cost technisque for measuring the velocity of particles in the gas deposition method is presented. Self-selection of the particles with parameters suitable for deposition occurs. This technique allows in situ monitoring deposition by gdm and for other deposition methods as well.
12.脆性材料の延性モード切削加工に関する研究（第２報）
○ 小倉 一朗・岡崎 祐一（生産システム部生産機械研究室）
光学ガラスの延性モード切削加工を実現するための基礎的研究を行った。各種加工雰囲
気下における加工タイプとツール切り込み量の関係を調べた。その結果、メタノールとエタノール雰囲気下において、０．２〜０．１μｍの範囲で安定な切削加工が行えることを確認した。
13.主軸回転中心位置測定法の開発 −PCを用いた計測の自動化の試み−
○ 小澤 則光１・森 和男２・水原 和行１・金 燦石３
（１生産システム部生産機械研究室）（２生産システム部生産情報研究室（３シグマ（株））
高精度鋼球と非接触変位計を用いた主軸回転中心位置測定報の自動化を目的に変位計をエンコーダ付き自動マイクロメータに取り付け、パーソナルコンピュータで制御、計測、表示するシステムを試作した。このシステムの概要と計測性能などについて報告する。
14.湿式切削における工具切刃の観測手法（第３報） −ファイバースコープを利用したレンズ系の改造−
○ 澤井 信重１・碓井 雄一１・宮澤 伸一
（１生産システム部生産情報研究室）（生産システム部部付主任研究官）
湿式切削において鮮明な工具画像をモニタするため、ITVカメラとノズル間を光ファイバーで構成した。これによりITVカメラとノズル間を自由に変形することが可能であり最適な位置で切削油の供給と切刃をモニタすることができる。
15.超音波加振ヘール加工（第２報） −鋼材の加工−
○ 伊藤 哲（生産システム部生産情報研究室）
ねじり振動を与える超音波振動子の先端にバイトを取り付け、切削方向に平行に加振し
ながら、鋼材をヘール加工した場合の加工結果について報告する。
16.硬質材料を対象としたYAGレーザ加工音と加工特性の相関性
○ 栗田 恒雄１・近森 邦夫１・碓井 雄一２・服部 光郎１
（１生産システム部複合加工研究室）（２生産システム部生産情報研究室）
YAGレーザ１パルス照射時に発生する音圧値とその時に除去される溝断面積との相関を加工条件、加工材料を変化させた場合についてそれぞれ求めた結果、及びそれらを応用したレーザ加工システムの将来展望について報告する。
